Какво е ULPA филтър? Как се различава от HEPA и къде принадлежи всеки от тях

HEPA филтър съгласно EN 1822 обикновено се отнася до H13 или H14. ULPA филтър се отнася за U15, U16 или U17. Скокът от H14 до U15 изглежда малък на хартия, но от гледна точка на проникване е голяма стъпка. H14 позволява максимално общо проникване от 0,005%, докато U15 намалява това до 0,0005%. Това е 10 пъти намаление на допустимото проникване.

Това е първото нещо, което купувачите трябва да запомнят:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

• Основата на теста е MPPS, а не просто 0,3 μm маркетингово изявление

По-високата ефективност обикновено означава по-строг контрол на замърсяването, но също така и по-голяма чувствителност на системата към дизайна на въздушния поток и спада на налягането

EN 1822 класове на ефективност

Съгласно EN 1822 често споменаваните високо-класове на ефективност са:

•H13: По-голяма или равна на 99,95% обща ефективност

•H14: По-голяма или равна на 99,995% обща ефективност

•U15: По-голяма или равна на 99,9995% обща ефективност

•U16: По-голяма или равна на 99,99995% обща ефективност

•U17: По-голяма или равна на 99,999995% обща ефективност

Същата класова таблица включва и локални граници на ефективност/проникване, които имат значение, когато сканирането за течове е част от изискването за приемане.

Тук започва объркването.

На пазара много листове с данни на ULPA все още описват производителност като 99,9995% при 0,12 μm. Продуктовата литература на AAF прави това директно за ULPA модули и кутийни филтри. Тази формулировка все още е често срещана и позната на много инженери. Но официалната класификационна логика съгласно EN 1822 / ISO 29463 се основава на MPPS тестване. Това означава, че най-безопасният начин за сравняване на продукти е:

• Първо проверете класа: H14, U15, U16, U17

•Потвърдете тестовия стандарт: EN 1822 / ISO 29463

• След това прегледайте как доставчикът посочва измерената ефективност в листа с данни

Какво наистина означава скокът на U15

Нашите инженери често виждат отношение на купувачитеU15като "малко по-добър от H14." По-добре е от това. Допустимото общо проникване намалява с един знак след десетичната запетая. От гледна точка на чистите помещения, това има значение, когато процесът вече се бори на ниво дефекти, а не само на ниво-комфорт на помещението.

Здравеопазване и операционни зали: целта е контрол на инфекциите, а не добив на вафли

При проектирането на здравеопазването основната грижа е контролирането на инфекциозния риск във въздуха, заразяването-на хирургическото място, съотношението на налягането и чистия въздушен поток над критичната зона. Насоките за здравеопазване на ASHRAE гласят товаHEPA филтрите се изискват от стандарт 170 само за помещения със защитна{1}}околна среда, не във всяко здравно заведение. За операционните зали акцентът е върху масива на захранващия дифузор, модела на въздушния поток и херметизацията на помещението. Ето защо дискусиите за здравеопазването обикновено се съсредоточават върхуHEPA, а не ULPA.

Има продукти за здравеопазване, които предлагат незадължително изпълнение на ULPA. Литературата на Camfil за-вентилация в театрални помещения споменава допълнителни ULPA филтри за някои системи. Но това не променя по-широкото правило:стандартният еталон за здравеопазване е HEPA-филтрация, докато ULPA е специален случай, а не отговорът по подразбиране.

Полупроводниковите чисти стаи са различни. Ръководството на Camfil за полупроводници описва фабрики, насочени към нивата на частици ISO клас 1, заедно със строг контрол на молекулярно замърсяване във въздуха (AMC). Той също така подчертава използването на HEPA и ULPA филтри в приложения като литография, ецване, дифузия, метализация, йонна имплантация, инструменти за инспекция и съхранение на решетки или пластини. MANN+HUMMEL също описва FFU системи за чисти помещения, използващи елементи от H14 до U17.

Ето защо купувачите на полупроводници често преминават от HEPA към ULPA:

•критичните размери на частиците са по-малки

•загубата на добив е пряко свързана с наноразмерно замърсяване

•инструментите и мини{0}}средите често се нуждаят от по-строг контрол от заобикалящата ги фабрика

• молекулярното замърсяване във въздуха има значение наред с частиците

Просто правило:
•Ако стаята защитава работния процес на пациента и персонала, HEPA обикновено е референтната точка.
•Ако стаята защитава вафла, маска, мерна мрежа или усъвършенстван инструмент за обработка, ULPA става много по-често срещана

Не, не автоматично.

По-добрият филтър на хартия не винаги е по-добрият инженерен избор в областта.

Купувачите също трябва да сравняват:

• Първоначална съпротива

•допустим краен спад на налягането

•капацитет на вентилатора и разход на енергия

•равномерност на въздушния поток

•изисквания за тест-за запечатване и сканиране

•отделящо поведение

•риск от приложението, ако филтърът се задръсти по-бързо или наложи редизайн на въздушната система

Нашите инженери често виждат ULPA посочено там, където H14 би изпълнил изискванията на реалния процес с по-ниска устойчивост на системата и по-ниски оперативни разходи. Случва се и обратната грешка: HEPA се копира в RFQ за полупроводници или микроелектроника, просто защото това е по-познатият термин. Нито един пряк път не е добра практика за обществени поръчки.

Тази точка се пренебрегва през цялото време.

В полупроводниковата и микроелектронната среда проблемът не е само в частиците. Това също е молекулярно освобождаване от самия филтър. Camfil казва, че неговата гама полупроводникови предварителни филтри е проектирана да предпазва HEPA филтрите без освобождаване на бор, а неговите HEPA/ULPA продукти за използване в полупроводници са проектирани за много ниско отделяне на газове. AAF прави същата гледна точка от страна на микроелектрониката, заявявайки, че без{3}}борна и химически инертна филтърна среда ограничава-отделянето на газове, което може да повреди микроелектрониката. Hollingsworth & Vose също така описва своята среда от микростъкло с ниско-бор като предназначена за чисти стаи в полупроводникови фабрики.

При производството на полупроводници следите от замърсяване не са теоретични. Молекулярното замърсяване във въздуха и химическите остатъци могат да засегнат повърхностите на вафлите, оптиката и инструментите за обработка. Camfil изрично отбелязва, че нежелани реакции, включващи киселини, основи, органични, огнеупорни идобавкиможе да създаде дефекти и да намали ефективността на оборудването. Борът е добавка в обработката на полупроводници, така че неконтролираното освобождаване на бор от материали във въздушния път е точно нещото, което производителите се опитват да избегнат.

Ето защо купувачите на електроника често искат:

•нисък{0}}бормедии

•ниско-отделяне на газовелепила и компоненти

• ULPA или модули HEPA/ULPA от висок-клас, създадени специално за микроелектроника

• филтри за чисти помещения, съобразени с литография, ецване, тънък филм или среди с инструменти за проверка

това е важно Филтърната среда с ниско-борно съдържание не е необходима във всяка чиста стая.

Става важно, когато:

процесът е полупроводников или микроелектронен

купувачът управлява AMC и отделянето на материали

фабриката или производителят на инструменти има строги изисквания за химическа чистота

цената на следите от замърсяване е изключително висока

За много фармацевтични, болнични или стандартни промишлени чисти помещения това изискване може никога да не се появи в RFQ.

1. Сравняване на HEPA при 0,3 μm с ULPA при 0,12 μm без проверка на стандарта

Това е сравнение между ябълки-с-портокали, освен ако не потвърдите заявената тестова основа и клас. Класификацията EN 1822 / ISO 29463 е изградена около MPPS.

2. Посочване на ULPA, защото "звучи по-безопасно"

По-високата ефективност не е безплатно надграждане, ако системата не може да поеме спада на налягането или ако процесът не се нуждае от него.

3. Пренебрегване на отделянето на газове и химическата чистота в електрониката

В полупроводниковите приложения материалите на филтъра имат значение. Конструкцията с ниско съдържание на-бор и ниско{2}}отделяне на газове може да бъде толкова важна, колкото и класът на ефективност.

4. Писане на "ULPA филтър" в RFQ без клас

Сериозен RFQ трябва да кажеU15, U16 или U17, плюс тестовия стандарт и размер.